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作者：深圳市微納制造產業促進會
上期我們介紹到，村田制作所（Murata）量產全球最小電感，采用的是“Thick Film Lithography”工藝。先進的產業技術往往是保密的，村田官方對這項技術的介紹也寥寥幾句，只有簡單的工藝流程圖。同時說明可以達到更小的尺寸，更高的Q值，更好的一致性等。
圖1：Thick Film Lithography工藝流程（來源：村田制作所官網）
眾所周至，村田制作所是一家全球性的綜合電子元器件制造商，主要從事以陶瓷為基礎的電子元器件的開發、生產和銷售業務，產品有電容器、電感器、電阻器、傳感器、耦合器……幾乎生產所有電子元器件，而且是目前全球最大的LTCC制造廠商。
村田能長期保持的領先地位，與其重視核心技術研發，堅持產品優化、工藝改進不無
關系，前面提到的Thick Film Lithography就是近年來開發的創新工藝技術之一，也是其專門為多層陶瓷器件高精度金屬化電路制造研發的專用技術。從技術路徑上Thick Film Lithography Process改進了原有的直接印刷工藝，使精度一致性等得到巨大提升。
圖2：LTCC生產流程（來源：券商研報）
在電子陶瓷產品的生產過程中，印刷工藝已經成為一項不可或缺的工藝手段，如低溫共燒陶瓷（LTCC）、高溫共燒陶瓷（HTCC）、片式多層陶瓷電容器（MLCC）等，在生產過程中都大量采用了印刷工藝。微電子產品小型化、輕量化的要求，促使電子封裝技術向高集成度、高封裝密度的方向發展，這就要求電路中導體線條和線間距越來越小、分辨率越來越高，如何升級印刷工藝達到更高的精度和分辨率將會成為產業最重要的技術高地。基于以上制造原理可以發現 ，LTCC的燒結工序制約了鍍膜技術的使用，而Thick Film Lithography Process是目前發現的極少數適應高溫燒結金屬化方式的高精度光刻量產工藝路線。
在高精度和小型化成為趨勢的今天，村田推動的Thick Film Lithography技術大概率會成為引導無源器件產品進一步進化的關鍵技術節點。據悉，以順絡電子為代表的國內器件龍頭企業已跟進這一技術，基于產業趨勢分析，小型化電感器上的應用只是剛剛開始，可以預見這一技術未來會在LTCC領域大放異彩。
